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常见问题

曝光机中UV灯工作原理

时间:2016-01-16     点击:加载中
什么是曝光机:
曝光机即电子束曝光机,是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。
曝光机基本工作原理:
在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光,受电子束辐照后的光刻胶,其物理化学性质发生变化,在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域,从而在抗蚀剂上形成精细图形。
曝光机的应用范围:
半导体生产线、微电子生产、LCD显示、LCD显示、线路板生产、PCB产品。
散光曝光机的特点:
1、散光机曝光时灯光是直接照射的,如同电灯一样,两面曝光时上下灯是同时曝光的,
2、平行曝光机不可以曝阻焊油墨。
在操作散光曝光机的车间
平行曝光机的特点:
平行曝光机只有一个灯管,曝光台面上下方有两面镜子,使用折射原理,两面同时曝光时,上下灯是分开曝光的,先曝上灯,一面镜子将光反到台面上方镜子上再折射到曝光台面,曝下灯时,光直射到下方镜子上再折射到台面上,所以用平行曝光机曝光,上灯能量一定要比下灯能量大些,曝光级数才能相同
平行曝光机的操作特点
 
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